愛德華Edwards iXL120 干式真空泵

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更新時間：2023-03-30 13:15:20瀏覽次數(shù)：648次

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蘇州奧揚機電設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

iXL高性能干式真空泵機組iXL系列干泵滿足平板顯示器(FPD)、半導體和太陽能制造市場領域涉及的所有排氣要求

詳細介紹

iXL 高性能干式真空泵機組

iXL 系列干泵滿足平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場領域涉及的所有排氣要求。

這些性能的泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無須維護。

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低。可用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本，有助于保護環(huán)境。

關鍵詞：干式真空泵顯示器

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