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詳細(xì)摘要： 產(chǎn)品介紹進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性
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詳細(xì)摘要： 產(chǎn)品介紹對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性
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