高靈敏度單軸加速度傳感器是在一片多晶硅上通過(guò)微機(jī)械加工出加速度敏感原件，它由轉(zhuǎn)換、測(cè)量、放大電路組成，屬于集成傳感器。主要有狀態(tài)監(jiān)測(cè)，沖擊測(cè)量和傾斜角測(cè)量三大用途，將振動(dòng)量輸出信號(hào)經(jīng)濾波、檢波，對(duì)設(shè)備的振動(dòng)大小給出精確直觀(guān)的指示，監(jiān)測(cè)設(shè)備是否正常運(yùn)行。沖擊測(cè)量大量應(yīng)用于汽車(chē)安全氣囊和安全帶系統(tǒng)中，保護(hù)乘車(chē)人的生命。傾斜角測(cè)量是當(dāng)傳感器傾斜放置時(shí)，輸出與傾斜角存在反正弦的函數(shù)關(guān)系。當(dāng)傾斜角較小時(shí)，近......

詳細(xì)介紹

在加速度傳感器中有一種是三軸加速度傳感器，同樣的它是基于加速度的基本原理去實(shí)現(xiàn)工作的，加速度是個(gè)空間矢量，一方面，要準(zhǔn)確了解物體的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，必須測(cè)得其三個(gè)坐標(biāo)軸上的分量；另一方面，在預(yù)先不知道物體運(yùn)動(dòng)方向的場(chǎng)合下，只有應(yīng)用三軸加速度傳感器來(lái)檢測(cè)加速度信號(hào)。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實(shí)現(xiàn)雙軸正負(fù)90度或雙軸0-360度的傾角，通過(guò)校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測(cè)量角度為60度的情況。

目前的三軸高靈敏度加速度傳感器大多采用壓阻式、壓電式和電容式工作原理，產(chǎn)生的加速度正比于電阻、電壓和電容的變化，通過(guò)相應(yīng)的放大和濾波電路進(jìn)行采集。這個(gè)和普通的加速度傳感器是基于同樣的原理，所以在一定的技術(shù)上三個(gè)單軸就可以變成一個(gè)三軸。對(duì)于多數(shù)的傳感器應(yīng)用來(lái)看，兩軸的加速度傳感器已經(jīng)能滿(mǎn)足多數(shù)應(yīng)用。但是有些方面的應(yīng)用還是集中在三軸加速度傳感器中例如在數(shù)采設(shè)備，貴重資產(chǎn)監(jiān)測(cè)，碰撞監(jiān)測(cè)，測(cè)量建筑物振動(dòng),風(fēng)機(jī),風(fēng)力渦輪機(jī)和其他敏感的大型結(jié)構(gòu)振動(dòng)。

三軸高靈敏度加速度傳感器的好處就是在預(yù)先不知道物體運(yùn)動(dòng)方向的場(chǎng)合下，只有應(yīng)用三維加速度傳感器來(lái)檢測(cè)加速度信號(hào)。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點(diǎn)，可以測(cè)量空間加速度，能夠全面準(zhǔn)確反映物體的運(yùn)動(dòng)性質(zhì)。

高靈敏度加速度傳感器具有優(yōu)良的穩(wěn)定性，可靠性和抗干能力。普通加速度傳感器通常需要在標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)上進(jìn)行標(biāo)定，給使用帶來(lái)不便。高靈敏度加速度傳感器采用*的微電子加工技術(shù)和電容式測(cè)量原理，可獲得優(yōu)良的低頻響應(yīng)，通過(guò)重力加速度g就可對(duì)傳感器進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)，且內(nèi)置自檢系統(tǒng)。

1、設(shè)備振動(dòng)測(cè)量：高靈敏度系列集成加速度傳感器廣泛應(yīng)用于各行業(yè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)。設(shè)備運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)量是估量設(shè)備運(yùn)行是否正常的重要指標(biāo)。該傳感器可以測(cè)量從直流到2kHz的振動(dòng)量，輸出信號(hào)經(jīng)濾波、檢波，對(duì)設(shè)備的振動(dòng)大小給出精確直觀(guān)的指示。

2、沖擊測(cè)量：大量應(yīng)用于汽車(chē)安全氣囊和安全帶系統(tǒng)中。撞車(chē)時(shí)，傳感器受到?jīng)_擊，能在1 ms內(nèi)輸出一個(gè)幅度比例于沖擊加速度的脈沖信號(hào)，當(dāng)沖擊加速度達(dá)到一定值時(shí)，該信號(hào)將使安全氣囊爆發(fā)或使安全帶鎖緊，以保護(hù)乘車(chē)人的生命。

3、傾斜角測(cè)量:當(dāng)傳感器傾斜放置時(shí)，傳感器的輸出為重力加速度在傳感器測(cè)量軸上的分量，即輸出與傾斜角存在反正弦的函數(shù)關(guān)系。當(dāng)傾斜角較小時(shí)，近似為線(xiàn)性關(guān)系。

高靈敏度系列集成加速度傳感器基于電容式測(cè)量原理測(cè)量加速度，其輸出電信號(hào)與測(cè)量加速度成正比例，高靈敏度系列集成加速度傳感器原理框圖如下：

微信圖片_20190523093846.png

測(cè)量范圍（峰值）	±10g
軸向靈敏度	500mv/g (160hz) ±5% (25℃)
頻率響應(yīng)	0.5-5,000Hz （±1dB)
安裝諧振頻率	≥15,000Hz
橫向靈敏度比	≤5%
線(xiàn)性度	≤3%
激勵(lì)電壓	18VDC-28VDC (恒流源)
恒流源激勵(lì)（mA）	2-10mA
輸出阻抗	＜100 Ω
滿(mǎn)量程輸出（峰值）	±5V
噪聲	＜50μV
偏置電壓	+9 - +12V
溫漂	≤0.01%／℃(-20～+125℃)
可承受沖擊	10000g
工作溫度	-20～+120℃
防護(hù)等級(jí)	IP65
外殼材料	不銹鋼

用螺栓將傳感器緊固于被測(cè)設(shè)備上。

傳感器殼體尺寸圖

傳感器底座尺寸圖

關(guān)鍵詞：傳感器振動(dòng)臺(tái)

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