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LUXOR Pt 磁控離子濺射儀

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LUXOR-Pt 噴金儀是一款觸摸屏控制的全自動(dòng)的磁控離子濺射裝置,專用于電鏡某些非導(dǎo)電樣品的噴金處理!采用樣品倒掛設(shè)計(jì),裝取樣品簡(jiǎn)易,無(wú)高壓線纜外置,觸摸屏控制,操作簡(jiǎn)單,不需要手動(dòng)調(diào)節(jié)電壓電流,只需設(shè)置鍍膜厚度,真空度,幾分鐘即可學(xué)會(huì)使用。

詳細(xì)介紹

LUXOR-Pt 噴金儀是一款觸摸屏控制的全自動(dòng)的磁控離子濺射裝置,專用于電鏡某些非導(dǎo)電樣品的噴金處理,以提高電鏡觀察的成像效果!

采用的樣品倒掛設(shè)計(jì),裝取樣品簡(jiǎn)易,無(wú)高壓線纜外置,樣品避免碎粒碎屑沉積,鍍膜均勻一致,觸摸屏控制,操作簡(jiǎn)單,不需要手動(dòng)調(diào)節(jié)電壓電流,只需設(shè)置鍍膜厚度,真空度,無(wú)需操作經(jīng)驗(yàn),幾分鐘即可學(xué)會(huì)使用。

 

主要技術(shù)指標(biāo)和特點(diǎn)如下:

------ 三種模式: 金屬濺射,樣品干燥,真空脫氣

------ 厚度可選范圍:1nm  --- 100nm 

      (連續(xù)可調(diào),金鍍膜厚度:典型10nm,鉑鍍膜層厚:典型2nm)

------  氣源要求: 氬氣 0.6bar

------  真空度可設(shè)定:7Pa--150Pa

------ 工作時(shí)間設(shè)定: 1---- 600min (連續(xù)可選)

------ 平均噴膜時(shí)間:6min

------ 可實(shí)現(xiàn)多達(dá)6個(gè)樣品的同時(shí)噴膜,樣品倉(cāng)高度可調(diào)!

------ 專門設(shè)計(jì)的樣品站,可直接實(shí)現(xiàn)Thermo Phenom電鏡樣品夾的噴涂

------ 雙重安全護(hù)罩保護(hù),硼硅玻璃樣品倉(cāng)外無(wú)高壓部件

------  方便的樣品固定和靶材更換

------ 占地小35cm*35cm,重量 13.5 Kg,長(zhǎng)寬高:340mm*340mm*290mm

------ 電源:110-240V&50Hz, 不含泵功耗120W,含泵功耗500W

------ 真空泵連接:DN 16KF

------ 工作氣體連接:快插4*1mm

關(guān)鍵詞:真空泵
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