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成都廠家復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī) 可定制

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參考價(jià): ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 套

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更新時(shí)間：2023-11-17 14:36:00瀏覽次數(shù)：229次

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  磁控濺射沉積

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成都漢普升科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：胡先生（銷售）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

成都真空設(shè)備廠家 surpass復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī) 離子轟擊系統(tǒng) 充氣系統(tǒng) 在線測量系統(tǒng) 可定制

詳細(xì)介紹

●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機(jī)械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體：φ650X700雙層水冷；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；

●真空抽速：1600L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì)，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）

●磁控靶組件：4個(gè)矩形靶，3個(gè)圓形靶，根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；

●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源；

●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)，1路毛細(xì)保護(hù)氣路；

●烘烤溫度：300℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；

●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛；

●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。