SLC-17系列產(chǎn)品都是17 mm寬，8.5 mm高。它們剛性非常好，非常適合穩(wěn)定性和高精度為要?jiǎng)?wù)的微納位移系統(tǒng)。盡管它們的尺寸很小，用于微納位移任務(wù)的位置傳感器仍然可以集成到每個(gè)位移器中，而不影響位移器的外形尺寸。由于這種高集成度，SLC-1720-S是最小的的具有宏觀行程范圍的閉環(huán)納米位移器。
| 參數(shù) | SLC-1720 | SLC-1730 | SLC-1740 | SLC-1750 | SLC-1760 | SLC-1770 | SLC-1780 |
| 行程 | 12mm | 21mm | 26mm | 31mm | 41mm | 46mm | 51mm |
| 開環(huán) 分辨率 | < 1 nm | ||||||
| 速度 | > 20 mm/s | ||||||
| 垂直負(fù)載 | 20N | 30N | |||||
| 體積 | 22x17 x8.5mm3 | 30x17x 8.5mm3 | 40x17 x8.5mm3 | 50x 17x8.5mm3 | 60x17 x8.5mm3 | 70x17 x8.5mm3 | 80x17 x8.5mm3 |
| 重量 | 13g | 20g | 26g | 32g | 38g | 45g | 51g |
| 可選閉環(huán)傳感器S | |||||||
| 傳感器 分辨率 | 1nm (MCS2) | ||||||
| 重復(fù) 精度 | ±25nm (MCS2) | ±30nm (MCS2) | ± 40nm (MCS2) | ± 50nm (MCS2) | ±60nm (MCS2) | ± 70nm (MCS2) | ± 80nm (MCS2) |
| 可選閉環(huán)傳感器L | |||||||
| 傳感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | ||||||
| 重復(fù) 精度 | ±50nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±60nm (MCS2) ± 1µm (H CU) | ± 80 nm (MCS2) ± 1 µm (HCU) | ±100nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±120nm (MCS2) ±1µm (H CU) | ±140nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±160nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) |
