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蘇州芯矽電子科技有限公司
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更新時間:2025-05-20 16:06:06瀏覽次數(shù):55次
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酸腐蝕清洗機(jī)是一種用于金屬、半導(dǎo)體及精密部件表面處理的濕法化學(xué)設(shè)備,通過酸性溶液(如硫酸、鹽酸、硝酸或混酸)去除氧化層、銹蝕、焊后殘留及微觀污染物。其核心優(yōu)勢包括自動化控溫與濃度調(diào)節(jié)(支持±0.5℃精度)、超聲波輔助清洗提升復(fù)雜結(jié)構(gòu)潔凈度,以及酸霧凈化系統(tǒng)保障操作安全。設(shè)備可兼容硅片、晶圓、金屬零件等多類基材,適用于光伏太陽能板酸洗、半導(dǎo)體刻蝕后處理等場景。
一、定義與核心功能
酸腐蝕清洗機(jī)是一種通過化學(xué)酸性溶液(如硫酸、鹽酸、硝酸、氫氟酸等)對金屬材料、半導(dǎo)體晶圓、精密零部件等表面進(jìn)行腐蝕、去氧化層、除銹或蝕刻的專用設(shè)備。其核心功能包括:
去除表面污染物:如金屬氧化層、銹蝕、焊后殘留、光刻膠等;
選擇性蝕刻:通過調(diào)整酸液配比、溫度和時間,實(shí)現(xiàn)特定材料的微結(jié)構(gòu)加工(如半導(dǎo)體圖形化);
表面粗化處理:用于增強(qiáng)材料表面附著力(如種植體、電子元件封裝)。
二、技術(shù)原理與工藝類型
化學(xué)腐蝕原理
鋼鐵酸洗:Fe2O3+6H+→2Fe3++3H2O;
硅片蝕刻:Si+4H++NO3?→SiO2+2H2O+NO↑。
酸性溶液與金屬或化合物發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成可溶性鹽類或氣體,例如:
工藝類型
濕法腐蝕:通過浸泡、噴淋或循環(huán)酸液實(shí)現(xiàn)均勻腐蝕,適用于大批量處理(如金屬板材、半導(dǎo)體晶圓)。
超聲波輔助腐蝕:高頻振動增強(qiáng)酸液滲透能力,用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)(如深孔、盲孔)的精準(zhǔn)清洗。
電解腐蝕:結(jié)合電化學(xué)作用加速局部腐蝕,用于選擇性蝕刻(如PCB線路板生產(chǎn))。
三、關(guān)鍵組成部分
機(jī)械結(jié)構(gòu)
腔體與材質(zhì):采用耐腐蝕材料(如聚四氟乙烯PTFE、聚丙烯PP、不銹鋼316L),配備密封門和防泄漏設(shè)計(jì)。
傳動系統(tǒng):電機(jī)驅(qū)動工件旋轉(zhuǎn)或往復(fù)運(yùn)動,確保酸液均勻覆蓋(如晶圓承載器轉(zhuǎn)速可調(diào)至每分鐘數(shù)十轉(zhuǎn))。
升降裝置:氣動/電動控制工件浸入深度,適應(yīng)不同尺寸(如2-12英寸晶圓)或形狀(如汽車零部件)。
液體供應(yīng)與循環(huán)系統(tǒng)
酸液儲存與輸送:配備耐腐蝕儲罐、離心泵或蠕動泵,支持多槽位切換(如預(yù)洗、主洗、中和槽)。
過濾與回收:循環(huán)過濾系統(tǒng)去除反應(yīng)產(chǎn)物(如金屬離子、顆粒),延長酸液使用壽命;部分機(jī)型支持廢酸再生(如離子交換技術(shù))。
控制系統(tǒng)
自動化操作:PLC或工業(yè)計(jì)算機(jī)控制清洗流程(時間、溫度、酸液濃度),支持參數(shù)存儲與調(diào)用。
人機(jī)界面:觸摸屏實(shí)時顯示溫度、液位、流量等數(shù)據(jù),支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與故障報警。
安全與環(huán)保模塊
防護(hù)裝置:門禁鎖、緊急制動按鈕、防腐蝕護(hù)罩,避免操作風(fēng)險。
廢氣處理:酸霧凈化塔(如堿液噴淋)吸收有害氣體(如HF、NOx),符合環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。
廢水處理:中和池調(diào)節(jié)pH至6-9,或集成蒸發(fā)濃縮系統(tǒng)減少危廢量。
四、性能指標(biāo)與選型要點(diǎn)
核心參數(shù)
清洗均勻性:顆粒去除率>99.9%,缺陷率<0.1/cm2(激光檢測)。
腐蝕速率:可控范圍0.1-5μm/min(如硅片蝕刻精度±0.05μm)。
產(chǎn)能:全自動機(jī)型單次處理1-6片晶圓(視尺寸而定),半自動機(jī)型1-3片。
選型建議
半導(dǎo)體:優(yōu)先選擇兆聲波+噴淋組合機(jī)型,支持EUV光刻膠去除;
金屬加工:側(cè)重高容量連續(xù)式酸洗線(如汽車鋼板處理);
行業(yè)需求:
環(huán)保要求:關(guān)注酸液回收率(>80%)、能耗(如熱能回收設(shè)計(jì))及廢氣處理效率(>95%)。
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